1流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準。
對于多數流量測控系統而言,很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計。
2測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示、累積流量自動(dòng)計量、數據自動(dòng)記錄、計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
3地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過(guò)程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
4適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。流量顯示的分辨率可達滿(mǎn)量程的0.1%, 流量控制范圍是滿(mǎn)量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應用。